FFU Fan Filter Unit on modulaarne õhupuhastusseade, millel on oma võimsus ja integreeritud kõrge{0}}efektiivsus filter, mida kasutatakse laialdaselt keskkondades, kus kehtivad ranged õhupuhtuse nõuded.
Peamised määratluspunktid
Täielik hiina nimi: ventilaatori filtriüksus (nimetatakse ka ventilaatorifiltri mooduliks või ventilaatori filtriüksuseks)
Ingliskeelne lühend: FFU (Fan Filter Unit)
Põhifunktsioon: õhk tõmmatakse ülalt sisseehitatud -ventilaatoriga ja puhastatakse kahes etapis läbi eelfiltri + suure-efektiivsusega (HEPA) või ülimadala läbitungimisvõimega (ULPA) filtri, seejärel edastatakse see puhta laminaarse õhuvooluna kiirusega 0,45 m/s ± 20%.
Konstruktsiooniomadused: Modulaarne disain, mida saab kasutada eraldi või kombineerituna mitme seadmega, toetab erinevaid paigaldusviise, nagu näiteks lakke kinnitamine või riputamine.
Kohaldatav puhtusklass: võib vastata puhtusnõuetele alates ISO klassist 10 (tase 100 000) kuni ISO klassini 1 (klass 100 või isegi kõrgem).
Tüüpilised rakendusstsenaariumid
Pooljuhtide tootmine (nt SMIC 14nm/28nm tootmisliinid)
Biofarmaatsia, meditsiiniseadmete tootmine
Haiglate operatsiooniruumid, laborid
Elektroonilised puhastusruumid, puhtad pingid, puhtad putkad jne.